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SU-8 microchem系列

 

產(chǎn)品特性

大高寬比,透明度高,垂直性好。

光源:Near UV(350-400nm),推薦i-lin,也可用于E-beam,X-ray

膠厚:0.5-650μm

 
     
   
  旋涂曲線  
     
 

應(yīng)用:適用于MEMS工藝,鈍化層,微流控以及光電子器件。

 
     
 

 

 
 
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