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HTKN601系列

 

產(chǎn)品特性:

UV負(fù)性光刻膠,高分辨率,可廣泛用于半導(dǎo)體的光刻工藝和金屬剝離工藝分辨率可以達(dá)到300nm,膠厚范圍在0.4µm-1.2µm。

光源248nm

 
     
   
  旋涂曲線  
     
   
 

金屬剝離效果圖

 
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